UpNano GmbH：研發(fā)新型框架，補償雙光子聚合 (2PP)打印基板傾斜度，提高精度！

2022年8月27日，南極熊獲悉，UpNano GmbH開發(fā)了一種新型框架可以在打印時補償雙光子聚合 (2PP) 3D打印基板中的微小傾斜度，提高打印精度�？梢哉f活，新開發(fā)的傾斜框架有助于最大限度地提高打印結(jié)果的精度，尤其是大型結(jié)構(gòu)。



UpNano GmbH（奧地利）在國際上推出了“傾斜框架”。該框架可以配備用于2到6英寸工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓的卡盤支架。利用此款框架，在長達 4 英寸的晶圓整個表面上進行 2PP 3D 打印已成為現(xiàn)實。傾斜框架適合UpNano的任何NanoOne系列設(shè)備，它們是由激光驅(qū)動的2PP 3D 打印系統(tǒng)，可以以極高的速度構(gòu)建跨越12個數(shù)量級的結(jié)構(gòu)。


△NanoOne打印機

NanoOne 系列可以打印納米分辨率以及厘米尺寸的結(jié)構(gòu)。它已被用于電子、微光學(xué)以及細(xì)胞和醫(yī)學(xué)研究中的生物相容性應(yīng)用。在 2PP 3D 打印中，尺寸參數(shù)是十分重要的。打印結(jié)構(gòu)越大，設(shè)備中任何微小的不均勻性就越會影響最終產(chǎn)品的精度。使用 NanoOne，可以顯著減少微型零件的生產(chǎn)時間和單位成本，而不會犧牲分辨率和公差。基于多光子光刻技術(shù)的多功能技術(shù)可用于制造結(jié)構(gòu)在 170 nm 范圍內(nèi)的超細(xì)組件和厘米范圍內(nèi)的宏觀微型零件。NanoOne 的寫入速度高達 1,000 mm/s，吞吐量高達 >450 mm3/h，將高性能與用戶友好相結(jié)合。


△可打印超細(xì)組件和宏觀微型零件


△UpNano研發(fā)了傾斜框架，能夠最大限度地提高精度。 用于2PP 3D打印的帶傾斜補償?shù)幕�板支架�?br />
UpNano GmbH 通過推出其傾斜框架解決了上述問題，可以糾正微米范圍內(nèi)的不均勻性。Tilt Frame 可以使用各種支架進行擴展，最大可以用于 6 英寸晶圓的卡盤支架。晶圓的整個表面（最大 4 英寸）現(xiàn)在都可以進行 2PP 3D 打印。

UpNano 的營銷和業(yè)務(wù)開發(fā)主管兼聯(lián)合創(chuàng)始人 Denise Hirner 解釋說：“此款框架適配于NanoOne打印機，可以最大限度地提高打印結(jié)果的精度，尤其是大型結(jié)構(gòu)。”



傾斜框架可以單獨訂購，并且可以輕松安裝到現(xiàn)有的 NanoOne 打印機上，或作為任何新 NanoOne 的預(yù)安裝附件。該框架能夠校正 μm 范圍內(nèi)的基板傾斜度。校正值通過 NanoOne 自動對焦獲得，該自動對焦在基板的三個點進行高度測量�；�于這些測量，電腦自動計算校正值。實際使用中，有兩個版本的傾斜框架可供選擇，其一是價格具有競爭力的手動版本，該版本使用高精度校正螺釘，其二是自動版本，使用軟件控制的精密電機進行校正。該框架與 NanoOne 系列可用的所有光學(xué)器件兼容，即 5x、10x、20x 和 40x 物鏡。

Denise Hirner 說道：“NanoOne 可以以高達 1,000 mm/s 的驚人寫入速度進行打印，并實現(xiàn)高達 200 mm3/h 的吞吐量。再加上新獲得的打印高達 4 英寸的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓的整個表面的能力，首次實現(xiàn)了 2PP 3D 精度的批量生產(chǎn)。“

UpNano 還在 Tilt Frame 產(chǎn)品組合中增加了一個光纖支架和一個插芯支架。通過將這些支架與來自 UpNano 產(chǎn)品組合的具有光學(xué)特性的打印材料一起使用，該材料已針對該工藝進行了優(yōu)化，集成光學(xué)系統(tǒng)可以高精度地定位和制造在光纖的尖端上。